ISO 21501-4 파티클 카운터 교정: 무엇을 검증하고 성적서에서 무엇을 보나

ISO 14644-1:2015 는 분류 측정에 ISO 21501-4 에 따라 교정된 카운터를 요구합니다. 교정 성적서에 무엇이 적혀 있어야 하는지 알면 장비 선택과 감사 대응이 쉬워집니다.

ISO 21501-4 란

광산란식 부유 입자 카운터(LSAPC)의 교정 방법과 성능 요구사항을 정한 표준입니다. 2007년 제정, 현행판 2018년. 핵심은 장비마다 제각각이던 “입자 크기”와 “개수”를 서로 비교할 수 있게 만드는 것입니다.

검증 항목과 허용 기준

항목요구사항뜻
크기 설정 오차≤ 10%0.5 µm 채널이 실제로 0.5 µm PSL 입자에서 열리는지
계수 효율 (최소 검출 크기)50% ± 20%가장 작은 채널에서 입자 절반을 세면 정상
계수 효율 (최소 크기의 1.5~2배)100% ± 10%조금 더 큰 입자는 거의 다 세야 함
크기 분해능≤ 15%같은 크기 입자가 인접 채널로 흩어지는 정도
영점 계수 (false count)충분히 낮을 것무입자 공기에서의 가짜 계수. 제조사 사양 예: 5분에 1개 이하
유량불확도 ≤ 5%유량이 틀리면 농도가 그대로 틀림
최대 농도 / 동시통과 손실제조사 명시 농도에서 검증입자가 많을 때 둘을 하나로 세는 오차 한계
교정 주기1년 이하연 1회가 사실상 표준

계수 효율은 기준 장비와의 비교로 확인하고, 크기 설정은 PSL 표준 입자와 펄스 높이 분석(PHA)으로 확인합니다.

성적서에서 볼 것

실무 포인트

참고: ISO 21501-4:2018, ISO 14644-1:2015. 수치는 교정 기관·제조사 자료 복수 대조(2026-11-02). 공식 요구사항은 표준 원문 기준.