파티클 카운터 선택 가이드: 용도별로 꼭 확인할 사양 7가지

비싼 것이 아니라 용도에 맞는 것이 좋은 장비입니다. 용도부터 정하세요.

용도 세 가지

한 장비로 분류와 모니터링을 겸하려 하면 둘 다 불편해집니다.

사양 7가지

1. 최소 검출 크기: 일반 클린룸(ISO 5~8)은 0.3 또는 0.5 µm. 반도체 핵심 공정(ISO 3~5)은 0.1~0.2 µm. “0.3 µm 50%” 는 정상 사양.
2. 채널: 모니터링은 2채널(일반 0.3/0.5, GMP 0.5/5.0 µm). 분류·원인 분석은 4~6채널. 크기를 바꿀 수 있는지 확인.
3. 유량: 1 CFM(28.3 L/min)은 분류 표준. 0.1 CFM(2.83 L/min)은 모니터링용, 매우 깨끗한 방에서는 통계 변동이 큼. 유량 정확도 ±5% 확인.
4. 통신·소프트웨어: 유선 Ethernet 이 1순위, 무선은 현장 확인 필수. RS-232/485, 4~20 mA 는 BMS 연동용. 소프트웨어는 관리 대수, 지점별 alert/action 알람, CSV 내보내기, GMP 면 데이터 무결성.
5. 교정·사후 관리: ISO 21501-4 교정 성적서, 연 1회 국내 교정 가능 여부, 영점 계수 사양, 고장 시 대체 장비. 국산은 교정·수리 회전이 빠름.
6. 설치 형태: 고정형은 전원·튜브 길이(짧게, 1 m 안팎)·등속 프로브. 포터블은 무게·배터리(4시간 이상)·프린터. 옥외는 히팅·방수.
7. 추가 센서: 온습도·차압을 같이 보면 입자 급증 원인(문 개방, 공조 이상)을 찾기 쉬움.

자주 하는 실수

• 일반 실내 공기를 클린룸용 고감도 장비로 재기 → 동시통과 오차로 과소 측정
• 튜브를 길게 늘려 한 대로 여러 지점(매니폴드) → 5 µm 손실, GMP 요건 미달
• 교정 만료 장비로 분류 측정 → 보고서 불인정
• 분류용 위치 수 공식을 모니터링 지점 수에 적용 → 모니터링은 위험평가로 결정

필요한 위치 수는 샘플링 계산기, 등급 판정은 ISO 등급 계산기.

참고: ISO 14644-1:2015, ISO 14644-2:2015, ISO 21501-4:2018, EU GMP Annex 1 (2022). 확인 2026-11-01.